碳化硅悬臂桨

产品介绍：

碳化硅悬臂桨是一种基于反应烧结碳化硅工艺制造的高性能陶瓷结构件，主要用于光伏及半导体晶圆装载系统。其核心材料为我司自主合成的碳化硅粉料，具有高纯度（SiC含量＞99.9990%）、大尺寸（长度可达数米）和复杂形状的制造能力，是晶圆热处理、化学气相沉积（CVD）等工艺中硅片承载与输送的关键部件。遵循行业标准JB/T 139462020，确保产品在1350℃以下高温环境中的稳定运行。

规格型号

可根据客户图纸制作

碳化硅悬臂桨性能特点： 

 1. 环境适应性  

耐高温：工作温度可达1350℃，短期耐受更高温度，高温下不变形，适用于LPCVD（低压化学气相沉积）等高温制程。  

 抗热震性：热膨胀系数低（约4.5×10⁻⁶/℃），可承受快速升降温循环（如急冷急热工况），延长设备维护周期。  

 2. 机械性能  

 高承载能力：抗弯强度＞2500MPa，晶圆装载量显著高于传统材料（如石英），提升生产效率。  

 耐磨耐腐蚀：莫氏硬度达9级，耐酸碱腐蚀和颗粒冲刷，减少污染物引入，保障硅片纯度。  

 3. 轻量化与长寿命  

 密度低（3.02g/cm³），减轻设备负载，使用寿命较金属或石英材料延长35倍，降低综合使用成本。  

 4. 高精度与稳定性  

 表面光洁度高，热稳定性优异，支持自动化机器人精准搬运，适配半导体晶圆的高精度制程需求。

典型应用场景： 

 1. 光伏产业  

 TOPCon电池生产：在LPCVD、PECVD（等离子增强化学气相沉积）等环节中，承载硅片完成掺杂与钝化层沉积。  

 硅片热处理：用于扩散炉中硅片的高温氧化与退火工艺，提升电池转换效率。  

 2. 半导体制造  

 晶圆加工：在半导体芯片的化学气相沉积、刻蚀等工艺中，作为晶圆托架的核心部件，保障制程稳定性与良率。  

 3. 新能源材料制备  

 碳化硅单晶生长：用于高温长晶炉中支撑碳化硅晶锭，耐受熔融硅腐蚀环境。  

 4. 其他工业领域  

 高温窑炉：作为耐高温支架，应用于陶瓷烧结、玻璃熔融等场景。